• Ebpay

      协作式机器人
      半导体晶圆厂地面搬运FOUP/POD，对接MRC进行任务调度；
      实现设备与设备间搬运、设备与E-Rack间搬运。
      功能亮点：

      亲和人机界面

      稳定系统集成

      对接多种设备

      具有Semi S2，Semi S17认证

      重要参数
      技术指标参数
      装载量

      2个Foup

      洁净等级

      Class100

      MR 认证标准

      Semi S2，Semi S17

      续航时间

      		8h

      充电方式

      手动更换电池或自动充电

      充电时间

      4h

      导航方式

      安全扫描激光器、SLAM 扫描


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